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真空泵油在真空泵中既是獲得真空的介質，也是潤滑、冷卻和密封機械摩擦點的作用。

主要性能要求：

 1、極低蒸氣壓是真空泵油的一項重要性能。由于真空泵的真空度很高，一般采用石蠟基窄餾分潤滑油。對于擴散真空泵，也可以使用硅油或其他蒸汽壓很低的合成油。

2、適當的粘度和良好的粘溫特性。真空泵腔容積不斷變化，形成排氣效果。要求潤滑油具有適當的粘度和粘溫特性。

3、良好的熱氧化安定性，真空泵高速發展。由于滑塊與泵體之間的高速摩擦，油的溫度升高，油易于氧化和分解。特別是擴散泵工作在非常高溫的環境中，增加了系統的蒸汽壓，降低了真空度。因此，要求真空泵油具有良好的熱氧化穩定性。

4、良好的防腐、抗乳化性能真空泵吸入腐蝕性氣體，會與油發生化學反應，腐蝕泵內零件；吸入的空氣中常含有水汽凝結物，導致真空泵油乳化，金屬腐蝕，因此要求具有良好的防腐、抗乳化性能。

5、主要要求真空泵內不攜帶輕組分，以免影響油的飽和蒸氣壓。

6、下限壓力，極限壓力是了解真空泵在低真空極限壓力下極限壓力的重要性能指標